本裝置為分子篩凈化空氣、空氣增壓、氧內(nèi)壓縮、下塔抽取壓力氮流程，帶中壓空氣增壓透平膨脹機(jī)，膨脹空氣進(jìn)下塔，采用規(guī)整填料上塔，全精餾制氬工藝。
原料空氣自吸入口吸入，經(jīng)自潔式空氣過(guò)濾器AF除去灰塵及其它機(jī)械雜質(zhì)。過(guò)慮后的空氣進(jìn)入離心式空壓機(jī)ATC，經(jīng)壓縮機(jī)壓縮到約0.615MPa(A)，然后進(jìn)入空氣冷卻塔AC冷卻。冷卻水為經(jīng)水冷塔WC冷卻后的水?？諝庾韵露洗┻^(guò)空氣冷卻塔，在冷卻的同時(shí)，又得到清洗。
經(jīng)空冷塔冷卻后的空氣進(jìn)入切換使用的分子篩純化器MS1（MS2），空氣中的二氧化碳、碳?xì)浠衔锖退直晃?。分子篩純化器為兩只切換使用，其中一只工作時(shí)，另一只再生。純化器的切換周期約為8小時(shí)，定時(shí)自動(dòng)切換。
凈化后的空氣分為三股：一股直接從分子篩后抽出作為儀表空氣和工廠空氣；一股進(jìn)入低壓板式換熱器E1，被返流污氮?dú)饧暗獨(dú)饫鋮s后出換熱器底部進(jìn)入下塔C1；另一股去空氣增壓機(jī)
進(jìn)入空氣增壓機(jī)的空氣經(jīng)增壓機(jī)第一段增壓到約2.8MPa(A)后分為兩股：一股直接出增壓機(jī)，經(jīng)水冷卻器冷卻后進(jìn)入膨脹機(jī)的增壓風(fēng)機(jī)BT中增壓，然后被冷卻器冷卻至常溫后進(jìn)入低壓板式換熱器E1，再?gòu)膿Q熱器中部抽出進(jìn)入膨脹機(jī)ET去膨脹。膨脹后的含濕空氣進(jìn)入氣液分離器，經(jīng)氣液分離器的空氣與出板式換熱器的低壓空氣匯合，進(jìn)入下塔C1。從氣液分離器抽出的液空也送入下塔C1。
另一股空氣在增壓機(jī)的第二段繼續(xù)增壓到約7.2MPa(A)并經(jīng)后過(guò)冷器冷卻至常溫后進(jìn)入高壓板式換熱器E2，與高壓液氧及返流污氮?dú)怏w換熱。這部分高壓空氣從換熱器E2底部抽出經(jīng)節(jié)流進(jìn)入緩沖罐。緩沖罐中的液空經(jīng)節(jié)流進(jìn)入下塔
空氣經(jīng)下塔C1初步精餾后，獲得液空、純液氮和污液氮，并經(jīng)過(guò)冷器E3過(guò)冷后節(jié)流進(jìn)入上塔C2。經(jīng)上塔進(jìn)一步精餾后，在上塔底部獲得液氧，并經(jīng)液氧泵OP1(OP2)壓縮后進(jìn)入高壓板式換熱器E2，復(fù)熱后出冷箱，出界區(qū)壓力為8.5MPa（G），然后進(jìn)入氧氣管網(wǎng)
上塔底部獲得的液氧一部分送入儲(chǔ)槽，并從中抽取一定的量汽化后進(jìn)入氧氣管網(wǎng)。
在下塔頂部獲得純液氮，送入液氮貯存系統(tǒng)。并間斷的從中抽取一定的量汽化后進(jìn)入氮?dú)夤芫W(wǎng)。
在下塔頂部抽取壓力氮?dú)?，?jīng)低壓板式換熱器E1復(fù)熱后出冷箱，進(jìn)入氮?dú)夤芫W(wǎng)。
在上塔C2中部抽取一定量的氬餾份送入粗氬塔，粗氬塔在結(jié)構(gòu)上分為二段，第二段粗氬塔C702底部的回流液體經(jīng)液氬泵AP1（AP2）加壓后送入第一段C701頂部作為回流液；氬餾份經(jīng)粗氬塔精餾后得到粗液氬，并送入純氬塔C703中部，經(jīng)純氬塔精餾后在塔底部得到2PpmO2的**氬
從上塔上部引出污氮?dú)饨?jīng)過(guò)冷器E3、低壓板式換熱器E1和高壓板式換熱器E2復(fù)熱后出冷箱后分成兩部分：一部分進(jìn)入分子篩系統(tǒng)的蒸汽加熱器SH，作為分子篩再生氣體，其余污氮?dú)馊ニ渌?/p>
